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      3. 產品詳情
        • 產品名稱:小型單靶等離子濺射鍍膜儀

        • 產品型號:TN-PSP180G-TA
        • 產品廠商:泰諾
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        小型單靶等離子濺射鍍膜儀是我公司研發的實驗室用小型鍍膜儀(基礎型),PLC控制系統,全部觸摸屏操作操作簡單便捷,小型單靶等離子濺射鍍膜儀可濺射Au、Ag、Cu,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。
        詳情介紹:

        產品介紹

        TN-PSP180G-TA小型單靶等離子濺射鍍膜儀采用二級濺射方式,低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用 

        適用范圍

        廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。

        ○ 產品特點

        1:二級低溫等離子體濺射工藝

        2:PLC控制系統,全部觸摸屏操作

        3:體積小巧造型美觀

        ○ 技術參數

        產品型號

        TN-PSP180G-TA

        外形尺寸

        500×320×470mm

        重量

        30kg

        電源

        220V 50Hz

        輸入功率

        1500W(含真空泵)

        輸出電壓

        1200V DC

        輸出電流

        50mA(Max電流)

        鍍膜腔尺寸

        Φ180×210mm

        樣品臺尺寸

        Φ100mm

        可選購加熱型樣品臺,溫度可高達500℃,*長濺射時間不可超過5分鐘

        真空泵

        雙極旋片真空泵,1.1L/s(4m3/h)

        進氣口

        裝有精密可調針閥,得以方便的調節進氣量

        靶材尺寸

        Φ50mm,厚度0.5~3mm

        靶材材質

        可選AuAgPtCrNi

        包裝

        三合板木質包裝

        ○ 免責聲明

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