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      3. 產品詳情
        • 產品名稱:迷你石墨烯CVD實驗室設備

        • 產品型號:
        • 產品廠商:泰諾
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        迷你石墨烯CVD實驗室設備采用1200℃迷你管式爐,功能齊全占地面積較小,迷你石墨烯CVD實驗室設備專為石墨烯生產設計。
        詳情介紹:

        ○ 產品介紹

        本套CVD系統專為石墨烯生產設計,采用1200℃迷你管式爐,配有高精度質量流量計以及薄膜真空規。相比于常規的皮拉尼電阻規,薄膜規的讀數精準,不受氣體種類影響,十分適合真空鍍膜工藝。同時設備配有可燃氣體檢測裝置,聯動出氣口電磁閥,一旦出現泄漏電磁閥即可自行關閉保證安全。
        該套設備功能齊全占地面積較小,十分適合實驗室制備CVD

        ○ 技術參數    

        1200℃迷你管式爐參數 

        供電電壓 AC220V,50Hz
        *大功率 2KW
        加熱溫區 單溫區200mm 恒溫區長 100mm
        加熱元件
        耐熱合金絲
        熱電偶
        K型
        工作溫度
        ≤1150℃
        升溫速率
        建議≤10℃
        控溫
        方式AI-PID 30段工藝曲線,帶有過熱和斷偶保護,精度+-1℃
        爐管
        高純石英φ50mm O.D x 450mm L
        真空系統
        機械泵  抽速1.1L/s 極限真空 5Pa
        三路質量流量計參數

        閥門類型
        不銹鋼針閥
        氣路數量
        三路
        承壓范圍
        0.05~0.3MPa
        量程
        Ar 0~500sccm
        H2 0~200sccm
        CH4 0~10sccm
        流量控制范圍
        ±1.5%
        混氣罐容積
        750mL
        氣路材料
        304不銹鋼
        管道接口
        6.35mm卡套接頭
        供電電源
        AC220V 50Hz

        ○ 免責聲明

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