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      3. 產品詳情
        • 產品名稱:PECVD石墨烯薄膜制備系統

        • 產品型號:
        • 產品廠商:泰諾
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        PECVD石墨烯薄膜制備系統借助13.56MHz的射頻輸出等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內形成等離子體,利用等離子體的強化學活性,改善反應條件,使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。PECVD石墨烯薄膜制備系統設備可以用于:石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種實驗場所。
        詳情介紹:

        ○ 產品介紹

        PECVD石墨烯薄膜制備系統借助13.56MHz的射頻輸出等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內形成等離子體,利用等離子體的強化學活性,改善反應條件,使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。PECVD石墨烯薄膜制備系統設備可以用于:石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種實驗場所。


        ○ 適用范圍

        PECVD石墨烯薄膜制備系統設備可以用于:石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種實驗場所。


        ○ 技術參數

        多溫區加熱系統 

        序號 

        功能名稱 

        技術要求 

        01 

        工作溫度 

        室溫~1200℃,長期工作溫度≦1100℃ 

        02 

        加熱區長度 

        三溫區加熱,各溫區可獨立控溫,恒溫區長度為550 

        03 

        控制模式 

        30段智能PID 多段程序控溫 

        04 

        控溫精度 

        ±1℃ 

        05 

        升溫速率 

        0~20℃/min 

        06 

        測溫元件 

        3支K型熱電偶 

        07 

        溫控保護 

        具有超溫和斷偶保護功能 

        08 

        爐管 

        高純石英管,能耐長期1100℃工作溫度 

        09 

        爐管尺寸 

        石英管外徑100mm 

        10 

        爐膛結構 

        開啟式 

        11 

        爐膛材料 

        進口纖維,保溫性能好,反射率高,溫場均勻 

        12 

        密封方式 

        真空不銹鋼水冷法蘭 

        13 

        閥門 

        KF25擋板閥 

        14 

        電源 

        380V/220V  50Hz 

        15 

        溫度記錄 

        可以實現溫度曲線記錄 

        16 

        爐殼溫度 

        ≦45℃ 

        單溫區加熱系統 

        序號 

        功能名稱 

        技術要求 

        01 

        工作溫度 

        室溫~1200℃,長期工作溫度≦1100℃ 

        02 

        加熱區長度 

        單溫區加熱,恒溫區長度為200mm 

        03 

        控制模式 

        30段智能PID 多段程序控溫 

        04 

        控溫精度 

        ±1℃ 

        05 

        升溫速率 

        0~20℃/min 

        06 

        測溫元件 

        K型熱電偶 

        07 

        溫控保護 

        具有超溫和斷偶保護功能 

        08 

        爐管 

        高純石英管,能耐長期1100℃工作溫度 

        09 

        爐管尺寸 

        石英管外徑100mm 

        10 

        爐膛結構 

        開啟式 

        11 

        爐膛材料 

        進口纖維,保溫性能好,反射率高,溫場均勻 

        12 

        密封方式 

        真空不銹鋼水冷法蘭 

        13 

        閥門 

        KF25擋板閥 

        14 

        電源 

        380V/220V  50Hz 

        15 

        溫度記錄 

        可實現溫度曲線記錄 

        16 

        爐殼溫度 

        ≦45℃ 

        RF輸出系統 

        序號 

        功能名稱 

        技術要求 

        01 

        功率范圍 

        0~500W連續可調 

        02 

        工作頻率 

        13.56MHz+0.005% 

        03 

        工作模式 

        連續輸出 

        04 

        顯示模式 

        LCD 

        05 

        匹配阻抗范圍 

        能夠匹配,起輝輝光均勻布滿三溫區爐管 

        06 

        功率穩定度 

        ≦2W 

        07 

        正常工作反射功率 

        ≦3W 

        08 

        較大反射功率 

        ≦70W 

        09 

        諧波分量 

        ≦-50dBc 

        10 

        整機效率 

        ≥70% 

        11 

        功率因素 

        ≥90% 

        12 

        供電電壓/頻率 

        單相交流(187V~253V) 頻率50/60HZ 

        13 

        控制模式 

        內控/PLC 模擬量/RS232/485 通訊 

        14 

        電源保護設置 

        DC 過流保護,功放過溫保護,反射功率保護 

        15 

        冷卻方式 

        強制風冷 

        16 

        起輝長度 

        在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光需能布滿整個三溫區的爐體長度 

        氣體流量控制 

        序號 

        功能名稱 

        技術要求 

        01 

        四路質子流量計 

        北京七星華創,質子流量計 

        02 

        流量范圍 

        MFC1量程:0~200sccm  MFC2量程:0~200sccm 

        MFC3量程:0~500sccm  MFC4量程:0~500sccm 

        分別對應氣體 H2、CH4、N2、Ar 

        03 

        測量精度 

        ±1.5%F.S. 

        04 

        重復精度 

        ±0.2% FS 

        05 

        線性精度 

        ±1%F.S. 

        06 

        響應時間 

        ≤4sec 

        07 

        工作壓力 

        -0.15MPa0.15MPa 

        08 

        流量控制 

        液晶觸摸屏控制,數字顯示,每路氣體含有針閥單獨控制 

        09 

        進氣接口 

        可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 

        10 

        出氣接口 

        可接1/4NPS或外徑6mm不銹鋼管 

        11 

        連接方式 

        雙卡套接頭 

        12 

        工作溫度 

        5~45℃ 

        13 

        氣體預混 

        配氣體預混裝置 

        真空要求 

        序號 

        功能名稱 

        技術要求 

        01 

        真空泵 

        配置進口或國產真空泵,爐管背景真空達5×10-1 Pa 

        02 

        系統漏率 

        ≤1.4×10-3 Pa.L/s 

        03 

        真空測量 

        Inficon防腐蝕超純陶瓷傳感器 

        04 

        真空測量范圍 

        0.01Pa1000Pa,測量精度0.2% 

        05 

        真空壓力表 

        配置一個通用真空壓力表用于系統真空粗測 

        06 

        連接管道 

        不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭與真空泵連接 

        軌道功能 

        序號 

        功能名稱 

        技術要求 

        01 

        滑軌長度 

        2.5米~3米,能實現三溫區爐子一個爐位長度的滑動,實現快速升降溫 

        02 

        主要參數 

        手動滑動,可實現管式爐和等離子體發生器的滑動控制,達到快速降溫,射頻放射調節 

        03 

        特殊定制 

        軌道上安裝方便拆卸的法蘭支架,用以支撐爐管長度改變時的端口法蘭;單溫區爐子可以拆裝至滑軌上與等離子體源配合使用;等離子體發生器可以拆卸


        ○ 滑軌需要滿足的要求

        1)常用方式是:等離子體發生器+三溫區爐配合,其中導軌可以讓三溫區爐有一個爐位的滑動;

        2)希望的搭配使用方式1是:等離子體發生器+單溫區管式爐;

        3)希望的搭配使用方式2是:單溫區管式爐+等離子體發生器+三溫區爐(此時三溫區爐不需要滑動快速升降溫)

        需要做到單溫區爐體能夠比較方便地裝到(1)方式的滑軌上,并且石英管兩端的法蘭支架可以在導軌長度內調節,能滿足不同爐管長度條件下對法蘭的支撐。



        ○ 免責聲明

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