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      3. 產品詳情
        • 產品名稱:CVD系統

        • 產品型號:TN-O1200-80MPECVD-3Z
        • 產品廠商:泰諾
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        該套CVD系統主要由:材料加熱、真空獲取、氣體測量和等離子發生器四大部分構成。可以滿足日常的大多數CVD實驗和各種科研要求。該CVD系統是材料制備過程中的理想之選。
        詳情介紹:

        ○ 產品介紹

        一體式CVD系統設計緊湊,使用方便。特別是豐富的圖文界面,即使您是**次操作,該系統也能順利引導您很快掌握該CVD系統的使用和操作,您根本無需專業學習,為您節省大量的科研時間,真正做到事倍功半!


        ○ 適用范圍

        可以滿足日常的大多數CVD實驗和各種科研要求。是材料制備過程中的理想之選。


        ○ 產品特點

        1、豐富的圖文信息:全尺寸液晶圖文界面

        2、系統高度集成:各個部分均由軟件協同進行數據采集、交換、處理、輸出

        3、可使實驗步驟程序化、自動化


        ○ 技術參數

        工作電壓:AC220/AC110V   

        工作頻率:50Hz/60hz

        工作溫度:25℃~1100


        測量精度:0.1

        控溫精度:±1℃

        加熱區長:400mm

        恒溫區長:200mm

        射頻頻率:13.56MHz

        射頻功率:0500W(可調節)

        匹配模式:自動匹配

        氣體通道:3通道

        氣體測量:質量流量計

        量程范圍:0~500SCCM

        真空設備:分子泵組

        真空測量:復合真空計



        ○ 免責聲明

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