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      3. 產品詳情
        • 產品名稱:1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統

        • 產品型號:TN-O1200-50IT-3F-HV
        • 產品廠商:泰諾
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統TN-O1200-50IT-3F-HV 由單溫區管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握。
        詳情介紹:

        TN-O1200-50IT-3F-HV 1200單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統該設備由單溫區管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制爐管內的氣氛環境。同時管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。1200單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統所配有的三路浮子流量計,可以混合1~3路氣體,較為準確的配制出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正面,可以監測氣體壓力及混合槽壓力。本系統還配有精密分子泵組,可以達到10E-3pa級別的真空度,較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。


        應用范圍:高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。


        名稱 1200單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統
        型號 TN-O1200-50IT-3F-HV
        參數
        1. 1、供電電源:AC:220V 50/60Hz
        2. 2、爐管  材質:高純石英; 尺寸:直徑50mm(可選配60mm80mm100mm)、長度800mm(爐膛長度:440mm)
        3. 3、加熱區:長400mm;  恒溫區:長200mm
        4. 4、工作溫度:0~1100℃; 控溫精度:±1℃; 
        5. 5、控溫模式:30段或50段程序控溫
        6. 6、顯示模式:LCD
        7. 7、密封方式 :304不銹鋼真空法蘭 ;法蘭接口:1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
        8. 8、可抽真空:4.4E-3Pa
        1. 9、供氣系統:TN-3F 3通道氣體通道
               測量部件:氣體浮子流量計
               測量量程:A通道:0~100ml/min   H2氣
                               B通道:16~160ml/min  N2氣
                              C通道:25~250ml/min   Ar氣
           備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需特別注明。根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計
              測量精度:±1.0%F.S
              管道耐壓:3MPa
              工作壓差:50~300KPa
              連接管道:304不銹鋼
              控制閥門:304不銹鋼針閥
              接口規格:進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
              供電電源:AC:220V 50/60Hz

        2. 10、排氣系統:產品型號TN-GZK103-A
               分子泵 TN-600     前極泵:旋片泵;   
               抽氣速率分子泵:600L/S   旋片泵:1.1L/S(  綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:1.0E-3Pa) 
               抽氣接口:KF40; 排氣接口:KF16
               真空測量復合真空計:電阻規+電離規
               極限真空:1.0E-5Pa
               供電電源:AC220V 50/60Hz

         

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