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      3. 產品詳情
        • 產品名稱:雙溫區滑道旋轉管式爐CVD系統

        • 產品型號:
        • 產品廠商:泰諾
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        雙溫區滑道旋轉管式爐CVD系統十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾,雙溫區滑道旋轉管式爐CVD系統通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,爐體在支架上能夠前后滑動,可以實現快速升降溫
        詳情介紹:

        雙溫區滑道旋轉管式爐CVD系統

        1.本產品主體結構是雙溫區滑道旋轉管式爐,爐管中部有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,

        2.通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;

        3.爐體在支架上能夠前后滑動,可以實現快速升降溫。

        4.設備配有兩路浮子流量計,可用于向路管內通入兩種氣體,

        5.同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。

        6.旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

        技術參數

        雙溫區管式爐

        產品型號

        TN-O1200-60IIT-R

        設備功率

        3KW

        爐管材質

        高純石英

        爐管直徑

        60mm

        爐管長度

        1600mm

        爐膛長度

        440mm

        加熱區長

        200mm+200mm

        工作溫度

        0~1150℃

        極限溫度

        1200℃

        控溫精度

        ±1℃

        控溫模式

        30段或50段程序控溫

        顯示模式

        高清全彩LCD觸控屏

        密封方式

        304不銹鋼真空法蘭

        供電電源

        AC:110V 50/60Hz  2.5kW

        滑軌長度

        2030mm,可滑動范圍1500mm

        旋轉速度

        0~20rpm

        2路浮子流量計

        產品型號

        CY-2F

        氣路數量

        2路

        流量計類型

        浮子流量計

        測量范圍

        A路:0~160mL/min; B路:0~100mL/min

        測量精度

        4%

        管道耐壓

        不銹鋼管,耐壓3MPa

        流量計耐壓

        1標準大氣壓

        管路接口

        φ8mm快擰接口

        真空系統

        真空泵

        雙極旋片泵

        抽速

        1.1L/s

        抽氣接口

        KF16

        泵極限真空度

        10E-1Pa

        供電

        AC110V 50/60Hz

         

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