1. <button id="lo4l5"></button>

      2. 
        

        <dd id="lo4l5"><pre id="lo4l5"></pre></dd>

        <th id="lo4l5"></th>
        <tbody id="lo4l5"><noscript id="lo4l5"></noscript></tbody>
      3. 產品詳情
        • 產品名稱:旋轉等離子增強CVD化學沉積系統

        • 產品型號:TN-PECVD-R
        • 產品廠商:泰諾
        • 產品文檔:
        你添加了1件商品 查看購物車
        簡單介紹:
        旋轉等離子增強CVD化學沉積系統十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾,旋轉等離子增強CVD化學沉積系統通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果。
        詳情介紹:

        旋轉PECVD 

        1. 本產品為旋轉離子增強化學氣相沉積系統(旋轉PECVD),爐管采用變徑設計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;

        2. 配有等離子發生裝置,電感耦合與爐管連接,產生的等離子能滿布爐管,有效提高反應物活化能,降低反應溫度,提高反應效率。

        3. 配有三路質量流量計及混氣裝置,可用于向路管內通入多種氣體,同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。

        應用

        旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

        技術參數

        雙溫區管式爐

        產品型號

        TN-O1200-60IIC-R

        設備功率

        3KW

        爐管材質

        高純石英

        爐管尺寸

        Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

        爐膛長度

        440mm

        加熱區長

        200mm+200mm

        工作溫度

        0~1150℃

        極限溫度

        1200℃

        控溫精度

        ±1℃

        熱電偶類型

        K型熱電偶

        控溫模式

        30段程序控溫,PID參數自整定

        顯示模式

        高清全彩LCD觸控屏

        密封方式

        304不銹鋼真空法蘭

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz  

        旋轉速度

        0~13rpm

        傾斜角度

        0~35°

        3路質量流量計

        產品型號

        CY-3Z

        氣路數量

        3路

        流量計類型

        質量流量計

        測量范圍

        A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

        測量精度

        ±1.5%

        工作壓差

        0.1~0.5MPa

        管路接口

        1/4英寸卡套接頭

        供電

        AC220V 50/60Hz

        真空系統

        真空泵

        雙極旋片泵

        抽速

        1.1L/s

        抽氣接口

        KF16

        泵極限真空度

        10E-1Pa

        供電

        AC220V 50/60Hz

        射頻電源

        信號頻率

        13.56MHz±0.005%

        功率輸出范圍

        0~500W

        *大反射功率

        100W

        射頻輸出接口

        50Ω,N-Type,female

        功率穩定度

        ≤5W

         

        国模叶桐尿喷337P人体_亚洲AV日韩综合一区久热_日韩欧美亚洲每日更新在线_波多野结衣人妻