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      3. 產品詳情
        • 產品名稱:桌面型單靶磁控鍍膜儀

        • 產品型號:CY-MSP180S-DC-GU
        • 產品廠商:泰諾
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        本設備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點。真空腔體整體采用下置靶設計,濺射效果好,雜質污染少,能*大限度的保護樣品。
        詳情介紹:

        本設備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點。真空腔體整體采用下置靶設計,濺射效果好,雜質污染少,能*大限度的保護樣品。

        桌面型靶下置型磁控鍍膜技術參數:

        CY-MSP180S-DC-GU

        樣品臺

        尺寸

        φ100mm

        加熱

        *高500

        轉速

        0-20可調

        安裝方式

        上置于腔體上蓋,樣品安裝為夾持式

        磁控濺射靶

        數量

        2” x1 下置安裝與腔體下法蘭

         

         

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ180mm X 215mm

        觀察窗口

        前置式 φ60mm

        腔體材料

        SS304

        開啟方式

        上頂開式

        真空系統

        機械泵

        旋片泵

        抽氣接口

        KF16

        分子泵

        渦輪分子泵

        抽氣接口

        KF40

        真空測量

        電阻規+電離規

        排氣接口

        KF16

        極限真空

        1.0E-4Pa

        供電電源

        AC 220V 50/60Hz

        抽氣速率

        機械泵1.1L/s  分子泵60L/s

        電源配置

        數量

        直流電源 x1

        *大輸出功率

        直流電源300W

         

        其他

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機尺寸

        550mm X 350mm X400mm

        整機功率

        2kW

         

         

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