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      3. 產品詳情
        • 產品名稱:5L等離子清洗機電容耦合

        • 產品型號:
        • 產品廠商:其它品牌
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        等離子清洗機(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果,
        詳情介紹:

        等離子清洗機(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態,并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔、涂覆等目的

        5L等離子清洗機 電容耦特點:

        腔體可利用面積大,起輝均勻,可清洗6英寸硅片。

        5L等離子清洗機電容耦合技術參數:

        主要部件

        指標名稱

        參數指標

        清洗倉體

        清洗倉材質

        SS304

        清洗倉尺寸

        200x160x240mm

        耦合方式

        電容耦合

        電源特性

        該電源為全固態射頻電源,采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊,有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件,使產品的可靠性得以保證。

        電源優勢

        ●可長時間正常運行
        ● 操作簡單靈活

        ● 電源效率高、發熱少
        ● 具有完善的反射功率保護功能

        射頻功率

        0~300W連續可調

        信號頻率

        13.56MHz ±0.005%

        反射功率

        100W

        功率穩定度

        ±0.1%

        射頻接頭

        N型頭

        整機效率

        75%

        諧波分量

        -50 dBc

        冷卻方式

        強制風冷

        測量部件

        兩路質量流量計 Ar 0~200sccm O2 0~200sccm 可定制

        其他參數參考之前的產品

        氣體通道

        兩通道

        A通道量程

        10100ml

        B通道量程

        16160ml

        真空測量

        數字真空計(電阻規)

        真空抽取

        雙極旋片泵

        電機轉速

        50Hz時為:144060Hz時為:1720

        抽氣速率

        50Hz時為:240L/Min60Hz時為:288L/Min

        真空量程

        0.1Pa10000Pa

        極限真空

        0.5Pa

        電機噪音

        56dB

        管道接口

        進氣口:KF16;排氣口KF16.

        連接管道

        KF16真空波紋管

        真空閥門

        KF16球閥

        電機功率

        400W

        供電電源

        AC220V 50/60Hz

        整機功率

        800W

        使用溫度

        -10 -- 40

        工作真空

        40Pa

        整機尺寸

        600mmX650mmX560mm

        整機重量

        80kg(含包裝)


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